陕西钛靶材制备工艺


选取钛原料（4N或者5N），采用真空熔炼的方法将钛原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；


将铸锭坯料进行第 一热处理，第 一热处理的温度为450～650℃，保温时间0.5～2.5h，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延或者空气锤锻打，形成第 一钛坯；


对第 一钛坯进行第 二热处理，第 二热处理的温度为350～550℃，保温时间为1～3h，然后将保温热处理后的第 一钛坯进行热轧延或者空气锤锻打，形成第 二钛坯；


对第 二钛坯冷却到室温后，在室温的环境下对第 二钛坯进行冷轧延，形成冷轧坯；


将冷轧所形成的冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为300～700℃，时间为1～5h，得到晶粒细小且均匀的钛靶坯，之后通过机床加工即得钛靶材。
该制备方法通过多次热处理，使得钛坯中的元素产生固态扩散，来减轻化学成分分布的不均匀性，减少靶材坯料的分层现象，缩小晶粒尺寸；同时可消除残余应力，稳定尺寸，减低硬度和脆性，增加其可塑性，减少变形与裂纹倾向。下图是钛溅射靶材典型的显微金相检测图片，平均粒径<100um。


钛靶材应用
钛靶材是一种重要的材料，主要用于制造半导体、光电子和磁性材料等高科技领域的材料。在半导体工业中，钛靶材可用于制造电子元件的制造，例如
光电品体管、光电接收器和发射器等。在光电子领域，钛靶材可用于制造光电子器件，例如 LED 和太阳能电池等。在磁性材料领域，钛靶材可用于制造硬盘和磁卡等。


除了以上应用，钛靶材还广泛用于高温合金、导电材料、化学催化剂和医疗设备等领域，这些领域不仅需要高强度、耐腐蚀的材料，还需要稳定的化学性能和生物相容性。钛靶材正好满足这些要求，成为这些领域的重要材料之一